Le LNE et ses partenaires développent une nouvelle jauge normalisée pour les très basses pressions
Pour mesurer de très basses pressions (ultravide), notamment dans la recherche en physique fondamentale, en métrologie ou dans l’industrie des semi-conducteurs, on utilise des jauges à ionisation. Cette ionisation résulte de la collision du faisceau d’électron émis par la cathode de la jauge puis accéléré, avec les molécules du gaz mesuré. Le courant d’ions collecté […]